Den första metall-oxid-halvledartransistorn (MOS) uppfanns 1959 av Mohamed M. Atalla och Dawon Kahng vid Bell Labs. MOSFET (metall-oxid-halvledarfälteffekttransistor) uppfanns av Kahng och Atalla 1959, och den första kommersiella CMOS-enheten (komplementär MOS) tillverkades 1968 av Fairchild Semiconductor.