The Semiconductor Industry Association ( SIA ) representerar 90 procent av halvledare produceras i USA . I flera miljarder dollar halvledarindustrin säljer miljontals små datorer mikrochips , som skapas med plasma elektroder . Typer av plasmaelektroder är : induktion kopplade , mikrovågsugn eller radio wave elektroder . Plasma elektroder på botten av ugnen axlar , når temperaturer över 6.000 grader Celsius . Plasmaelektroder förånga metall , som rockar koppar eller silikon bildar halvledare . Elektrisk urladdning plasmaelektroder
plasmaelektroder frigöra elektrisk ström genom ett ämne som inte leder elektricitet . Air isolerar . Det leder inte elektricitet , men en flera tusen volt elektriskt fält passerade normalt isolerande luft , skapar kväve , syre och andra gasformiga joner . Den plasmaelektrod orsakar negativt laddade elektroner att bryta av kväve- eller syreatomer och lämnar de positivt laddade joner . De joner och elektroner (plasma ) flyttar separat genom den höga spänningen skapar en elektrisk ström. Plasma leder elektrisk ström .
Vaccuum bågplasma Elektroder
vakuumbågurladdning elektriska urladdningar använder plasmabeläggningar i metallurgi och som plasma filmer . Den vakuumalstrande bågarna är från parade högspänningselektroder i en vakuumkammare. Den elektriska bågen bär joniserat plasma och riktar det magnetiska båge för att belägga ett mikrochip yta. Bågen kan riktas med ett magnetfält. Beläggning mikrochips med en laddad plasmabåge är en process som kallas " vakuum båge nedfall . " Flytande metall droppar spray från elektroderna yta , vilket försämrar kvaliteten på den tunna plasma beläggningen . De inkonsekventa dropparna avlägsnas från plasmastrålen genom att hindra flödet av plasmabågen mellan elektroden och halvledarens yta . Denna process kallas " filtrerad vakuum båge nedfall . "
Corona och Glow Elektroder Discharge
Corona elektrisk urladdning är en partiell inhomogen elektrisk urladdning . Corona elektrisk urladdning skapas av en hög spänning elektrisk fält nära en skarp elektrod. Corona är en låg ström , hög spänning urladdning . Glow utsläpp är flera hundra volt och 1 ampere ström . Den låga joniserat ström förstärks i kollision med andra partiklar . Förstärkningen skapar sekundära elektroner . Elektriska urladdningar skapas också genom mikrovågor eller laser vågor med eller utan elektroder . Addera kapacitivt kopplad plasma ( CCP ) Elektroder
kapacitivt kopplad plasma ( CCP ) elektroden är faktiskt två plasmaelektroder med lite avstånd mellan dem i en reaktor . Trycket från gas i reaktorn kan vara lägre än trycket av atmosfären. En central motpart elektrod riktar radiovågor , vanligen vid 13,56 MHz . En plasma- elektroden är ansluten till el , och den andra är marken elektroden . KKP elektroder fästs parallellt , och plasma som bildas på detta sätt är kapacitivt kopplad plasma . Kapacitivt kopplad plasma producerar ibland ljus samtidigt generera plasma med en kondensator . Elektroner bombarderar en elektrod snabbt bli negativt laddade , och de skapar sekundär plasmaström utöver den växelström. En likström elektrod hetsar elektroner och avgifter joner . Detta mikroproc deponerar en tunn plasma film på en elektrod . Halvledare från CCP kan etsas .
